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VCTC - VAC Cluster Tool Controller

Die offene Systemlösung für komplexe Anlagensysteme

 
VCTCVAC Cluster Tool Controller (VCTC) ist eine innovative Systemsoftwarelösung zur Realisierung von Steuerungen für Cluster Tools und Inline-Anlagen auf PC-Plattformen unter Windows NT, 2000 und XP. In Verbindung mit dem VAC Modular Equipment Controller VMEC können umfassende Steuerungslösungen inklusive Prozess- und Transportmodul-Controller effizient und zuverlässig realisiert werden. Zur Integration der Anlage in die Fab Automation steht das Interface VAC FabLink für SECS/GEM und die EDA Lösungen von Siemens zur Verfügung.
 
VAC Cluster Tool Controller

Der VCTC zeichnet sich durch Offenheit, Skalierbarkeit, und Modularität aus. Er ist ein offenes und hochflexibles System, wodurch mit geringem Aufwand Anpassungen an neue Transport- und Prozessmodule durchgeführt werden können. Auch die Arbeit mit mehreren Load/Unload Ports ist problemlos möglich. Dabei kann es sich auch um Module verschiedener Hersteller handeln. Alle wichtigen Funktionalitäten, wie Job-, Programm- und Rezeptmanagement sind vollständig implementiert.

Chargenprotokollierung auf XML-Basis, Trending für Prozesswerte, ein integriertes parametrierbares Meldungssystem sowie eine Rechte- und Nutzerverwaltung gehören selbstverständlich zum Lieferumfang.
Die Projektierung der Applikation erfolgt mit dem grafischen Editor des Automatisierungstool VAC NT/32. Funktionserweiterungen können grafisch projektiert werden oder mittels Hochsprache (C++, C#, .net Assemblies, Jscript, ...) implementiert werden.

 
Eigenschaften

  • Online Visualisierung (GUI)

  • Job Management - Verwaltung von Produktionsaufträgen

  • Programm- und Rezept Management - Verwaltung der Rezepte für Gesamtanlage und Prozessmodule

  • Carrier Management

  • Substrat Tracking / Material Movement

  • Alarm Handling, parametrierbare Meldungsverwaltung

  • Protokollverwaltung, Chargenprotokolle und Data Logging

  • Trend, Online/Offlinetrend pro Modul mit Anzeige ausgewählter Werte

  • Nutzer und Rechteverwaltung

  • Konformität zu SEMI Standards (200 und 300mm)

 
 Produktbeschreibung mit technischem Datenblatt
 
 


Zum VCTC- Support


 
Ad-hoc Information:
Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns
 
SEMICON WEST
15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)
 
PVSEC
1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)
 
PSE
6. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen
 
InnoTrans
23. - 26. September 2008 in Berlin
 
SEMICON Europe
7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart
 
SPS/IPC DRIVES
25. - 27. November 2008 in Nürnberg
 
Drachenbootfestival
28.- 29. Juni 2008 in Dresden
 
User Conference
19. Juni 2008 in Dresden
 
AUTOMATICA
10. - 13. Juni 2008 in München
AIS Automation
Dresden GmbH