Total Fab Monitoring

Equipment Performance Tracking: Bewerten Sie die Effektivität Ihrer Anlagen

TFM

Total Fab Monitoring (TFM) stellt eine leistungsfähige Softwarelösung für Equipment Performance Tracking (EPT) in Verbindung mit Equipment Online Monitoring dar. Es kann somit als Meß- und Auswertesystem in allen Bereichen der Produktion eingesetzt werden und bietet dem Nutzer zu jeder Zeit einen umfassenden Überblick über die Effektivität seiner Produktionsausrüstung.
Neben den Anwendungsschwerpunkten in der Halbleiterindustrie, Elektronikfertigung und Mikrosystemtechnik (SEMI E10, SEMI E58) ist das TFM ebenso auf eine Vielzahl anderer Industriebereiche anwendbar, in denen die Aufgabe steht Maschinen zu überwachen und Verfügbarkeitskennziffern automatisch zu ermitteln. Total Fab Monitoring Screens

Das System TFM ist hinsichtlich seiner Funktionen skalierbar. Es stehen die folgenden Funktionsmodule zur Verfügung:

Online Visualisierung
Fehlerstatistik
Maschinenzustandstatistik
Durchsatz
RAM Kenziffern
OEE Kennziffer
Report
Trending
Alarm Log
Wafer Tracking

Zur vertikalen Integration unterschiedlichster Maschinen und Anlagen stehen eine Vielzahl von Schnittstellen (u.a. CORBA, MSMQ, TIBrv, SECS/GEM, XML, OPC, Feldbusse, serielle Interfaces, Datenbanken) zur Verfügung.

Wafer Tracking Modul

Speziell bei Cluster Anordnungen von Maschinen besteht die Aufgabe:

die Cluster Komponenten (bspw. Prozeßkammern) hinsichtlich Ihrer Verfügbarkeit genauer zu betrachten
das Material (z.B. Wafer) innerhalb einer Maschine zu verfolgen.

Damit wird das Verbesserungspotential innerhalb einer Maschine, speziell für den Anwendungsfall in der Halbleiterindustrie (front end), aufgezeigt.

Konfigurierbarkeit
Das System kann hinsichtlich der angeschlossenen Maschinen und deren Standorte durch den Anwender selbst mittels einfacher Eingabe der Konfiguration angepasst und erweitert werden.

Skalierbarkeit
Neben der Skalierbarkeit der Funktionsmodule ist das System auch im Hinblick auf die Anzahl angeschlossener Maschinen variabel. Typischerweise erstreckt sich das Mengengerüst von 5 bis 20 Maschinen bis zu einigen 100 Maschinen (größtes System 1200 Maschinen).

Verteilbarkeit des Systems
Die unternehmensweite Informationsverteilung erfolgt über eine Client-Server Architektur. Die Anlagenintegration kann sowohl innerhalb des Systems als auch durch verteilte Integrationslösungen (Interfaceadapter oder Cellcontroller) erfolgen. Entsprechend der Anzahl der angeschlossenen Maschinen kommen ein oder mehrere Server zum Einsatz.

Ihr Nutzen auf einem Blick

Unterstützung bei Analyse und Verbesserung Ihrer Produktionsabläufe
Sicherung einer hohen Verfügbarkeit der angeschlossenen Maschinen durch Schwachstellenanalyse auf Basis der automatisch ermittelten Verfügbarkeitsdaten und statistischen Fehlerauswertung
Akutelle Informationen über den Zustand der Maschinen und damit schnellere Reaktionsmöglichkeit auf Fehler
Überwachung vereinbarter Verfügbarkeitsdaten auf deren Erfüllung (OEE / RAM)
Unterstützung bei der Ermittlung von freien Kapazitäten Ihrer Maschinen (Uptime / UPH)
Reduktion Ihres manuellen Datenhandlings für Produktions- und Fehleranalysen
Analyse und Dokumentation der Ergebnisse durchgeführter Verbesserungen
Unterstützung der Inbetriebnahme (ramp up) bei der Erprobung und Einführung von neuen Produktionslinien

Produktbeschreibung TFM

Wafer Tracking Module

Ad-hoc Information:
Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns

SEMICON WEST
15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)

PVSEC
1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)

PSE
6. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen

InnoTrans
23. - 26. September 2008 in Berlin

SEMICON Europe
7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart

SPS/IPC DRIVES
25. - 27. November 2008 in Nürnberg

Drachenbootfestival
28.- 29. Juni 2008 in Dresden

User Conference
19. Juni 2008 in Dresden

AUTOMATICA
10. - 13. Juni 2008 in München