Cluster Tool Controller - Steuerung hochkomplexer Anlagensysteme

Cluster Tools sind in der Regel hochkomplexe Fertigungsanlagen. Dieser Anlagentyp kommt überwiegend in der Halbleiterindustrie, der Mikrosystemtechnik aber auch der Vakuumtechnik und anderen Hochtechnologien zum Einsatz. Ein Cluster besteht aus einem oder mehreren Handlingsystemen, die die einzelnen Prozessmodule mit den zu bearbeiten Substraten versorgen. Die Zuführung der Substrate erfolgt über LoadPorts oder LoadLocks. Die Motivation zur Verwendung dieses Anlagenkonzeptes liegt begründet in:

Zusammenfassung mehrerer Arbeitsschritte in einer Anlage und damit verbunden
Reduktion von Bearbeitungszeiten
Erhöhung der Prozesssicherheit durch die Verringerung von Eingriffen und Unterbrechungen
Verringerung und Reduktion von Verunreinigung und äußeren Störeinflüssen (z.B. Handling unter Vakuumbedingungen)

Die Herausforderung bei der Entwicklung von Cluster Tool Controllern liegt zum einen in der Integration der Modulen von verschiedenen Herstellern, in der Kombination der Module mit einem Transportsystem und zum anderen in der kollisionsfreien Steuerung der Substrate durch die Anlage.
Grundsätzlich sind sequentielle und parallele Bearbeitungsprinzipien möglich. Bei der sequentiellen Abarbeitung werden Substrate mit gleicher Arbeitsvorschrift nacheinander in die Anlage eingeschleust und bearbeitet. Komplizierter wird es bei der parallen Bearbeitung, wo z.B. für einen konkreten Prozessschritt mehrere baugleiche Module verwendet werden können oder die Substrate mit verschiedenen Arbeitsvorschriften bearbeitet werden.

Als innovatives Systemhaus kennen wir diese Anforderungen und haben auch die passenden Lösungen für:

Cluster mit mehreren Handlingsystemen,
Durchsatzoptimierung bei paralleler Bearbeitung,
Cluster mit Modulen unterschiedlicher Hersteller,
atmosphärische und vakuumbasierte Cluster.

Wir bieten Ihnen die notwendigen Entwicklungstools und helfen Ihnen natürlich auch gern bei der Entwicklung bzw. realisieren Ihr komplettes Projekt.

Ad-hoc Information:
Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns

PVSEC
1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)

PSE
16. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen

InnoTrans
23. - 26. September 2008 in Berlin

SEMICON Europe
7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart

SPS/IPC DRIVES
25. - 27. November 2008 in Nürnberg

SEMICON WEST
15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)

Drachenbootfestival
28.- 29. Juni 2008 in Dresden

User Conference
19. Juni 2008 in Dresden

AUTOMATICA
10. - 13. Juni 2008 in München

AIS Automation
Dresden GmbH