VCTC - VAC Cluster Tool Controller

Die offene Systemlösung für komplexe Anlagensysteme

VAC Cluster Tool Controller (VCTC) ist eine innovative Systemsoftwarelösung zur Realisierung von Steuerungen für Cluster Tools und Inline-Anlagen auf PC-Plattformen unter Windows NT, 2000 und XP. In Verbindung mit dem VAC Modular Equipment Controller VMEC können umfassende Steuerungslösungen inklusive Prozess- und Transportmodul-Controller effizient und zuverlässig realisiert werden. Zur Integration der Anlage in die Fab Automation steht das Interface VAC FabLink für SECS/GEM und die EDA Lösungen von Siemens zur Verfügung.

Der VCTC zeichnet sich durch Offenheit, Skalierbarkeit, und Modularität aus. Er ist ein offenes und hochflexibles System, wodurch mit geringem Aufwand Anpassungen an neue Transport- und Prozessmodule durchgeführt werden können. Auch die Arbeit mit mehreren Load/Unload Ports ist problemlos möglich. Dabei kann es sich auch um Module verschiedener Hersteller handeln. Alle wichtigen Funktionalitäten, wie Job-, Programm- und Rezeptmanagement sind vollständig implementiert.

Chargenprotokollierung auf XML-Basis, Trending für Prozesswerte, ein integriertes parametrierbares Meldungssystem sowie eine Rechte- und Nutzerverwaltung gehören selbstverständlich zum Lieferumfang.
Die Projektierung der Applikation erfolgt mit dem grafischen Editor des Automatisierungstool VAC. Funktionserweiterungen können grafisch projektiert werden oder mittels Hochsprache (C++, C#, .net Assemblies, Jscript, ...) implementiert werden.

Eigenschaften

  • Online Visualisierung (GUI)
  • Job Management - Verwaltung von Produktionsaufträgen
  • Programm- und Rezept Management - Verwaltung der Rezepte für Gesamtanlage und Prozessmodule
  • Carrier Management
  • Substrat Tracking / Material Movement
  • Alarm Handling, parametrierbare Meldungsverwaltung
  • Protokollverwaltung, Chargenprotokolle und Data Logging
  • Trend, Online/Offlinetrend pro Modul mit Anzeige ausgewählter Werte
  • Nutzer und Rechteverwaltung
  • Konformität zu SEMI Standards (200 und 300mm)

VCTC-Prospekt (engl.)

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