VAC-Systemlösungen

Erprobte Systemlösungen für Anlagenautomatisierung, Überwachung und Auswertung.

RDAT - Remote Diagnostic and Adminstration Tool
Überwachung, Fehleranalyse & Fernwirkung 

TFM - Total Fab Monitoring
Monitoring der Anlagenauslastung in der Fabrikautomation

VLC - VAC Line Controller
Leitrechner für Fertigungslinien 

VECC - VAC Equipment Cell Controller
Integration von Anlagen und Komponenten in die Fabrikautomatisierung

VAC - Fab Link
SECS/GEM Interface für Equipments der Halbleiterfertigung 

VMEC - VAC Modular Equipment Control
Modulare Maschinensteuerung 

VCTC - VAC Cluster Tool Controller
Steuerung von Cluster-Anlagen 

µTFM - Micro Total Fab Monitoring
Maschinendatenerfassung mit SEMI E10