Total Fab Monitoring (TFM)

Equipment Performance Tracking (EPT) - 
Decken Sie Kosteneinsparpotentiale auf und erhöhen Sie die Effektivität Ihrer Anlagen

Total Fab Monitoring (TFM) stellt eine leistungsfähige Softwarelösung für Equipment Performance Tracking (EPT) in Verbindung mit Equipment Online Monitoring dar. Es kann somit als Meß- und Auswertesystem in allen Bereichen der Produktion eingesetzt werden und bietet dem Nutzer zu jeder Zeit einen umfassenden Überblick über die Effektivität seiner Produktionsausrüstung. Neben den Anwendungsschwerpunkten in der Halb-leiterindustrie, Elektronikfertigung und Mikrosystemtechnik (SEMI E10, SEMI E58) ist das TFM ebenso auf eine Vielzahl anderer Industriebereiche anwendbar, in denen Maschinen überwacht und Verfügbarkeitskennziffern automatisch ermittelt werden sollen.

Richtig eingesetz bietet sich ein enormes Einsparpotential in Ihrer Fertigung - bis zu 10% der benötigten Maschinen. Mehr dazu in den "TFM Sucess Stories" unserer Kunden:

 TFM Sucess Stories
 

Das System TFM ist hinsichtlich seiner Funktionen skalierbar. Es stehen die folgenden Funktionsmodule zur Verfügung:

  • Online-Visualisierung
  • Fehlerstatistik 
  • Maschinenzustandstatistik
  • Durchsatz
  • RAM-Kenziffern
  • OEE-Kennziffer
  • Report
  • Messwertverfolgung
  • Cycle Tracking
  • Vorbeugende Instandhaltung

Zur vertikalen Integration unter- schiedlichster Maschinen und Anlagen stehen eine Vielzahl von Schnittstellen (u.a. CORBA, MSMQ, TIBrv, SECS/GEM, XML, OPC, Feldbusse, serielle Interfaces, Datenbanken) zur Verfügung.

Wafer Tracking Modul

Speziell bei Cluster Anordnungen von Maschinen besteht die Aufgabe:

  • die Cluster Komponenten (bspw. Prozeßkammern) hinsichtlich Ihrer Verfügbarkeit genauer zu betrachten 
  • das Material (z.B. Wafer) innerhalb einer Maschine zu verfolgen.

Damit wird das Verbesserungspotential innerhalb einer Maschine, speziell für den Anwendungsfall in der Halbleiterindustrie (front end), aufgezeigt.
 

Konfigurierbarkeit

Das System kann hinsichtlich der angeschlossenen Maschinen und deren Standorte durch den Anwender selbst mittels einfacher Eingabe der Konfiguration angepasst und erweitert werden.
 
Skalierbarkeit

Neben der Skalierbarkeit der Funktionsmodule ist das System auch im Hinblick auf die Anzahl angeschlossener Maschinen variabel. Typischerweise erstreckt sich das Mengengerüst von 5 bis 20 Maschinen bis zu einigen 100 Maschinen (bisher größtes System: 500 Cluster Tools mit insgesamt 3.300 Kammern).
 
Verteilbarkeit des Systems

Die unternehmensweite Informationsverteilung erfolgt über eine Client-Server Architektur. Die Anlagenintegration kann sowohl innerhalb des Systems als auch durch verteilte Integrationslösungen (Interfaceadapter oder Cellcontroller) erfolgen. Entsprechend der Anzahl der angeschlossenen Maschinen kommen ein oder mehrere Server zum Einsatz.
 
Ihr Nutzen auf einem Blick

  • Unterstützung bei Analyse und Verbesserung Ihrer Produktionsabläufe
  • Sicherung einer hohen Verfügbarkeit der angeschlossenen Maschinen durch Schwachstellenanalyse auf Basis der automatisch ermittelten Verfügbarkeits-daten und statistischen Fehlerauswertung
  • Akutelle Informationen über den Zustand der Maschinen und damit schnellere Reaktionsmöglichkeit auf Fehler
  • Überwachung vereinbarter Verfügbarkeitsdaten auf deren Erfüllung (OEE / RAM)
  • Unterstützung bei der Ermittlung von freien Kapazitäten Ihrer Maschinen (Uptime / UPH)
  • Reduktion Ihres manuellen Datenhandlings für Produktions und Fehleranalysen
  • Analyse und Dokumentation der Ergebnisse durchgeführter Verbesserungen
  • Unterstützung der Inbetriebnahme (ramp up) bei der Erprobung und Einführung von neuen Produktionslinien

 TFM - Total Fab Monitoring
 

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