EDA / Interface A

Equipment Data Acquisition für Prozessmonitoring & Optimierung

EDA bzw. Interface A ist ein neuer Interface-Standard in der Halbleiterindustrie. Moderne EES-Applikationen (Equipment Engineering Systems) wie APC (Advanced Process Control) und Monitoringsysteme benötigen große Mengen an Equipment- und Prozessdaten, die über EDA übergeben werden können.
EDA setzt auf Softwaretechnologien wie XML, SOAP und WebSevices. Grundlage für EDA ist der im SEMI Standard E120 (Common Equiment Model) beschriebene Aufbau der Anlage und die darauf basierende Selbstbeschreibung (SEMI E125 Equipment Self Description). EDA stellt ein 2. Equipment-Interface neben dem bereits existierenden SECS/GEM Interface dar.
 
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