Inline-Anlagen

Inline-Anlagen haben ihren Namen auf Grund der physischen Anordnung von mehreren Prozessmodulen in Reihe.
 
Inline-Anlagen werden vorrangig in der Vakuumtechnik bei der Glasbeschichtung, Beschichtung von Folien und Bändern (Kunststoff und Metall), Beschichtung von optischen Bauelementen, Solarzellen und vielen anderen Produktionsbereichen eingesetzt. Dabei wird sowohl mit kontinuierlichem Substratflow als auch diskontinuierlich gearbeitet.
 
Komplexer und anspruchsvoller wird die Steuerung dieser Anlagen, wenn sie aus mehreren unabhängig voneinander bestückbaren Teilsystemen bestehen bzw. von 2 Seiten mit Substraten bestückbar sind. Darüber hinaus bestehen zum Teil hohe Anforderungen an die Antriebstechnik für den Substrattransport.
 
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