Einkammeranlagen

Einkammeranlagen in der Vakuumtechnik

Einkammeranlagen sind die am meisten genutzten Anlagen in der Vakuumtechnik. Im Unterschied zu Inlinern oder Prozessclustern werden hier alle Prozessschritte (Vorbehandlung, Beschichtungsprozesse, Nachbehandlung) sequentiell abgearbeitet.

Unsere Steuerung bietet ein übersichtliches grafisches Benutzerinterface mit einer einfachen, intuitiven Bedienung. Der Service-Mode bietet eine interne Systemdiagnose und die Servicebedienung der einzelnen digitalen und analogen Ein- und Ausgänge. Im Manual-Mode erfolgt die Parametrierung der einzelnen Anlagenkomponenten (Pumpen, MFCs, Netzteile usw.) und deren Einzelbedienung. Im Automatik-Mode werden die Modulrezepte vollautomatisch abgearbeitet und protokolliert.

Für die Rezepterstellung stehen je nach Kundenwunsch feste Rezeptmasken (vorzugsweise bei Produktionsanlagen) oder grafische Editoren (für Forschungsanlagen) für die freie Erzeugung von Rezeptstrukturen zur Verfügung. Alle Prozesswerte werden in einer Datenbank gespeichert. Die Analogwerte (Temperatur, Sputterleistung usw.) stehen im Offline-Trend für eine spätere Auswertung zur Verfügung. Die Prozessdokumentation erfolgt über ein Chargenprotokoll und (wenn erforderlich) ein chargenbezogenes Datalogging.

Durch die komponentenbasierte Struktur ist unser Steuerungssystem technologieunabhängig und kann preisgünstig auf alle Anforderungen angepasst werden.

Für Einzelschichten (z.B. dekorative Schichten) oder Mehrschichtsysteme (in der optischen Industrie), für unterschiedlichste Technologien (Widerstandsverdampfer, Elektronenstrahlverdampfer, Sputtern, Plasmaätzen usw.) und Vielfalt der Prozessabläufe, für die Anbindung von unterschiedlichem Equipment verschiedenster Hersteller – in jedem Fall ist unser System auf die Anforderungen vorbereitet.

Auch für Ihre Anlagen haben wir eine Lösung. Wir beraten Sie gern!