Cluster-Tools

Cluster Tool Controller - Steuerung hochkomplexer Anlagensysteme

Cluster Tools sind in der Regel hochkomplexe Fertigungsanlagen. Dieser Anlagentyp kommt überwiegend in der Halbleiterindustrie, der Mikrosystemtechnik aber auch der Vakuumtechnik und anderen Hochtechnologien zum Einsatz. Ein Cluster besteht aus einem oder mehreren Handlingsystemen, die die einzelnen Prozessmodule mit den zu bearbeiten Substraten versorgen. Die Zuführung der Substrate erfolgt über LoadPorts oder LoadLocks. Die Motivation zur Verwendung dieses Anlagenkonzeptes liegt begründet in:

  • Zusammenfassung mehrerer Arbeitsschritte in einer Anlage und damit verbunden
  • Reduktion von Bearbeitungszeiten
  • Erhöhung der Prozesssicherheit durch die Verringerung von Eingriffen und Unterbrechungen
  • Verringerung und Reduktion von Verunreinigung und äußeren Störeinflüssen (z.B. Handling unter Vakuumbedingungen)

Die Herausforderung bei der Entwicklung von Cluster Tool Controllern liegt zum einen in der Integration der Modulen von verschiedenen Herstellern, in der Kombination der Module mit einem Transportsystem und zum anderen in der kollisionsfreien Steuerung der Substrate durch die Anlage.


Grundsätzlich sind sequentielle und parallele Bearbeitungs- prinzipien möglich. Bei der sequentiellen Abarbeitung werden Substrate mit gleicher Arbeitsvorschrift nacheinander in die Anlage eingeschleust und bearbeitet. Komplizierter wird es bei der parallen Bearbeitung, wo z.B. für einen konkreten Prozessschritt mehrere baugleiche Module verwendet werden können oder die Substrate mit verschiedenen Arbeitsvorschriften bearbeitet werden.


Als innovatives Systemhaus kennen wir diese Anforderungen und haben auch die passenden Lösungen für:

  • Cluster mit mehreren Handlingsystemen,
  • Durchsatzoptimierung bei paralleler Bearbeitung,
  • Cluster mit Modulen unterschiedlicher Hersteller,
  • atmosphärische und vakuumbasierte Cluster.

Wir bieten Ihnen die notwendigen Entwicklungstools und helfen Ihnen natürlich auch gern bei der Entwicklung bzw. realisieren Ihr komplettes Projekt.