Facility

Facility Automation für die Halbleiterfertigung  

Der Reinraum, in dem mit modernstem Equipment unter kontrollierten und gleichmäßigen Umgebungs- bedingungen Halbleiter gefertigt werden, ist das Herzstück jeder Halbleiterfertigung.
Dabei müssen nicht nur Raumtemperatur, Luftfeuchtigkeit und Luftdruck exakt den vorgegebenen Werten entsprechen. Auch die Ver- und Entsorgung der Medien, wie Reinstwasser, Chemikalien und Gase, muss rund um die Uhr gewährleistet sein.
 
Wir bieten Ihnen ein durchgängiges Automatisierungskonzept 

Auf Basis des Prozessleitsystems SIMATIC PCS 7 der Siemens AG wurde ein Konzept für eine durchgängige Automatisierung aller Gewerke in und um den Reinraum entwickelt. Dank einheitlicher und standardisierter Schnittstellen kann der zeitliche Aufwand für die Realisierung von Monitoring- und Steuerungssystemen für die einzelnen Gewerke (Gas, Chemie, …) und deren Integration in das FMCS (Facility Monitoring and Control System) deutlich gesenkt werden. Insbesondere die Verwendung von Softwarebausteinen (Typicals) führt zu einer effektiven und einheitlichen Lösung. Die Kosten für Ersatzteilhaltung, Wartung und Schulung sinken erheblich, da nur noch ein Basis-System betreut werden muss.
 
Als Dienstleistungsunternehmen auf diesem Gebiet haben wir über 10 Jahre Erfahrung, die wir Ihnen gern für die Lösung Ihrer Projekte zur Verfügung stellen.

Facility Monitoring - für die Halbleiterfertigung 

Auf Basis des Prozessleitsystems SIMATIC PCS 7 der Siemens AG wurde ein Konzept für ein durchgängiges Monitoring und  Automatisierung unterschiedlicher Gewerke entwickelt.
Das System ist modular aufgebaut und gut skalierbar. Darüber hinaus besitzt es eine ausgereifte und speziell auf die Facilities zugeschnittene Bibliothek aus Software-Bausteinen mit Standardfunktionalitäten.
 

Durchgängiges Monitoringkonzept 

Das Monitoringsystem übernimmt sowohl die Übersichtsdarstellungen des Gesamtsystems als auch die Detailvisualisierungen für die angeschlossenen Chemie- und Gasversorgungssysteme, Reinst- und Abwassersystem, Poliermittelsysteme und Abgasentsorgungssystem. Weitere Funktionen wie Meldungsverwaltung, Trend- und Archivfunktionen für Prozesswerte sowie Protokollierung stehen zur Verfügung.
 
Für die in Zukunft stärkere Integration und Verschmelzung der Facility-Automation mit der Fabrikautomation im Produktionsbereiche bieten wir Integrationsstrategien an, die auf den neues Interfacestandards der SEMATECH basieren.

 
Performance und Systemeigenschaften 

Hohe Performance und hervorragende Systemeigenschaften garantieren zusammen mit durchgängiger Datenhaltung, Kommunikation und Projektierung, dass die für ein Prozessleitsystem typischen Anforderungen durch SIMATIC PCS 7 umfassend erfüllt werden:

  • einfache und sichere Prozessführung
  • komfortable Bedienung und Visualisierung
  • leistungsfähiges, schnelles und systemweites Engineering
  • systemweite Online-Änderbarkeit
  • Redundanz auf allen Ebenen
  • fehlersichere Automatisierungslösungen
  • umfassende Feldbusintegration
  • direkte Anbindung an die IT-Welt.


Steuerung des Facilities für die Halbleiterfertigung  

Für die Steuerung der unterschiedlichen Systeme des Facility-Bereiches (Gaskabinette, Chemieversorgungs-systeme, Abgasentsorgung, …) stehen unterschiedlichste Steuerungssysteme zur Verfügung. Neben klassischen SIMATIC S7-Steuerungen nutzen wir auch die Möglichkeiten der Steuerung mit dem Prozessleitsystems SIMATIC PCS 7, wodurch ein einheitlicher Engineering-Prozess sowohl für die Steuerung als auch das Monitoring gewährleistet wird.
Zur Effektivierung des Entwicklungsprozesses nutzen wir bereits vorhandene Softwaremodule, die auf die spezielle Konfiguration der Ver- und Entsorgungstools angepasst werden.
 
Als System- und Softwarehaus bieten wir alle Leistungsstufen von der Systemkonzipierung über die Steuerungsentwicklung bis zur Inbetriebnahme und späteren Wartung an. Dabei übernehmen wir natürlich auch die Integration von Systemen, die andere Steuerungskonzepte verwenden.