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Insitu-APCAdvanced Process Control im Equipment oder über eine Gruppe von EquipmentsHerkömmliche APC-Implementierungen sind in der Regel Run-to-Run (R2R) Lösungen. R2R bedeutet, die Resultate eines Prozesses oder Prozessschrittes werden ausgewertet und die dabei gewonnenen Erkenntnisse haben erst auf den nächsten Prozess oder Prozessschritt Einfluss. Es werden zwei Varianten unterschieden: APC Forward Loop Die Ergebnisse eines technologischen Prozesses werden gemessen und ausgewertet und beeinflussen die Parameter nachfolgender Prozessschritte. APC Backward Loop Die Ergebnisse eines technologischen Prozesses werden gemessen und ausgewertet und beeinflussen davor liegende Prozessschritte für nachfolgende Aufträge. Es ist auch eine Kombination von Forward und Backward Loop möglich. Insitu-APC Insitu-APC ist für die Regelung auch innerhalb von komplexen Prozess-Equipments oder Gruppen von Equipments einsetzbar. Wichtigste Voraussetzung dafür ist die fortlaufende Messung der prozessrelevanten Größen während des Prozesses.
Dazu ist ein Insitu-APC Framework notwendig, welches über performante Schnittstellen wie z.B. EDA und OPC Mess- und Prozesswerte kontinuierlich erfasst. Über die in das Framework eingebundenen Data Mining- und SPC-Module werden die Abhängigkeiten ermittelt und Regelparameter abgeleitet. Mit diesen Informationen wird ein spezielles technologieabhängiges APC-Regelmodell ermittelt und implementiert. Im Zusammenspiel mit Moduladapter, Rezeptverwaltung, Simulation, Archivierung und weiteren Komponenten bietet das APC Framework die bisher einzigartige Möglichkeit, neben diskontinuierlichen und quasikontinuierlichen auch kontinuierliche Prozesse während ihrer Laufzeit zu beeinflussen. APC Framework Insitu-APC wird in einem zur Zeit laufenden Entwicklungsprojekt (gefördert von der sächsischen Aufbaubank) entwickelt, in dem die dargestellten Anforderungen auf Basis modernster Softwaretechnologien mit Praxispartnern umgesetzt werden. Das komplette Framework wird Ende 2005 zur Verfügung stehen. Vorher sind allerdings schon kundenspezifische Lösungen installierbar. |
Ad-hoc Information: Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns
SEMICON WEST 15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)
PVSEC 1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)
PSE 6. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen InnoTrans 23. - 26. September 2008 in Berlin
SEMICON Europe 7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart SPS/IPC DRIVES 25. - 27. November 2008 in Nürnberg Drachenbootfestival 28.- 29. Juni 2008 in Dresden
User Conference 19. Juni 2008 in Dresden
AUTOMATICA 10. - 13. Juni 2008 in München ![]() |