Facility Monitoring für die Halbleiterfertigung

Auf Basis des Prozessleitsystems SIMATIC PCS 7 der Siemens AG wurde ein Konzept für ein durchgängiges Monitoring und Automatisierung unterschiedlicher Gewerke entwickelt.
Das System ist modular aufgebaut und gut skalierbar. Darüber hinaus besitzt es eine ausgereifte und speziell auf die Facilities zugeschnittene Bibliothek aus Software-Bausteinen mit Standardfunktionalitäten.

Durchgängiges Monitoringkonzept

Das Monitoringsystem übernimmt sowohl die Übersichtsdarstellungen des Gesamtsystems als auch die Detailvisualisierungen für die angeschlossenen Chemie- und Gasversorgungssysteme, Reinst- und Abwassersystem, Poliermittelsysteme und Abgasentsorgungssystem. Weitere Funktionen wie Meldungsverwaltung, Trend- und Archivfunktionen für Prozesswerte sowie Protokollierung stehen zur Verfügung.

Für die in Zukunft stärkere Integration und Verschmelzung der Facility-Automation mit der Fabrikautomation im Produktionsbereiche bieten wir Integrationsstrategien an, die auf den neues Interfacestandards der SEMATECH basieren.

Performance und Systemeigenschaften

Hohe Performance und hervorragende Systemeigenschaften garantieren zusammen mit durchgängiger Datenhaltung, Kommunikation und Projektierung, dass die für ein Prozessleitsystem typischen Anforderungen durch SIMATIC PCS 7 umfassend erfüllt werden:

einfache und sichere Prozessführung
komfortable Bedienung und Visualisierung
leistungsfähiges, schnelles und systemweites Engineering
systemweite Online-Änderbarkeit
Redundanz auf allen Ebenen
fehlersichere Automatisierungslösungen
umfassende Feldbusintegration
direkte Anbindung an die IT-Welt.

Ad-hoc Information:
Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns

SEMICON WEST
15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)

PVSEC
1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)

PSE
6. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen

InnoTrans
23. - 26. September 2008 in Berlin

SEMICON Europe
7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart

SPS/IPC DRIVES
25. - 27. November 2008 in Nürnberg

Drachenbootfestival
28.- 29. Juni 2008 in Dresden

User Conference
19. Juni 2008 in Dresden

AUTOMATICA
10. - 13. Juni 2008 in München

AIS Automation
Dresden GmbH