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EDA / Interface AEquipment Data Acquisition für Prozessmonitoring & Optimierung
EDA bzw. Interface A ist ein neuer Interface-Standard in der Halbleiterindustrie. Moderne EES-Applikationen (Equipment Engineering Systems) wie APC (Advanced Process Control) und Monitoringsysteme benötigen große Mengen an Equipment- und Prozessdaten, die über EDA übergeben werden können. EDA setzt auf Softwaretechnologien wie XML, SOAP und WebSevices. Grundlage für EDA ist der im SEMI Standard E120 (Common Equiment Model) beschriebene Aufbau der Anlage und die darauf basierende Selbstbeschreibung (SEMI E125 Equipment Self Description). EDA stellt ein 2. Equipment-Interface neben dem bereits existierenden SECS/GEM Interface dar. Wir bieten Ihnen vollständige EDA Lösungen für Ihre Anlagensteuerung und Fabrikautomationen. Fragen Sie uns! |
Ad-hoc Information: Die AIS wird Teil des Roth & Rau-Konzerns
SEMICON WEST 15. - 17. Juli 2008 in San Francisco (USA)
PVSEC 1. - 4. September 2008 in Valencia (Spanien)
PSE 6. - 17. September 2008 in Garmisch-Partenkirchen InnoTrans 23. - 26. September 2008 in Berlin
SEMICON Europe 7. - 9. Oktober 2008 in Stuttgart SPS/IPC DRIVES 25. - 27. November 2008 in Nürnberg Drachenbootfestival 28.- 29. Juni 2008 in Dresden
User Conference 19. Juni 2008 in Dresden
AUTOMATICA 10. - 13. Juni 2008 in München ![]() |